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电子精细化工材料 |
| 显影液TMAH (电子级四甲基氢氧化铵) |
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| 含量 | wt % | 2.380±0.003 | 20.00±0.20 | 25.00±0.20 |
单个金属离子
(钠,钾,钙,镁，锌等) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤10 |
| 色度 | Hazen | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
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