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半导体材料设备 |
| FT-CZ0618S 硅单晶炉 |
产品性能及参数：
性能：
该设备主要用于采用CZ法 拉制6英寸和8英寸的硅单晶棒
1）采用电脑控制系统和触摸式屏幕显示。
2）如果具有多台FT-CZ0618S型号的单晶炉，则该触摸式电脑中的软件可以相互之间复制。
3）拉晶全过程全部采用自动化控制。
4）单晶炉整机设置有可安装UPS的插口。
5）电源装置采用高精度CPU控制板进行独立控制。使之功耗小、省电；并设有LC装置，可以防止由于电流波动对电网的冲击，以及对周边设备的干扰。
参数
| 可拉制硅棒直径 |
6"、8" |
| 多晶硅最大装料量 |
65kg-70kg |
| 热场规格 |
18" |
| 石英坩埚规格 |
18" |
| 最大拉晶长度 |
1800mm |
| 籽晶轴行程 |
3800mm |
| 籽晶提升速度（低） |
0.2--10.5mm/min |
| 籽晶提升速度（高） |
---800mm/min |
| 籽晶旋转速度 |
2--40rpm |
| 坩埚最大移动距离 |
250MM |
| 坩埚升降速度（低） |
0.04-0.62MM |
| 坩埚升降速度（高） |
165mm/min |
| 坩埚轴最大承重 |
150 KG以下 |
| 坩埚转速 |
2-20rpm(转/分钟) |
| 坩埚升降轴行程 |
350mm（行程向上：250mm，向下：100mm） |
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供货厂家：上海汉虹精密机械有限公司
公司地址：上海宝山城市工业园区山连路181号
联系人：吕立强
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