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电子材料专业设备 |
| YX－5D线切割专用定向粘接系统 |
一、用途及特点：
线切割专用定向粘接系统是为晶体行业（尤其是半导体行业）线切割机的专用配套产品。用于线切割前对晶棒的定向和粘接。该系统适用于各种线切割上配套使用，也可与内圆切割机配套使用。该系统操作简单、灵活，测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角度，最大的特点是对于偏晶向的计算和粘接。合理的结构设计，采用电磁式脚踏光闸，有效地防止X射线对人体的伤害。
二、结构特征与工作原理：
整个系统由X射线定向单元、计算机单元和粘接单元组成。定向单元是由高压变压器产生的高压加到X射线管，X射线经过狭缝照射到样品表面上，在符合布拉格公式nλ=2dsinθ时产生衍射，衍射线由计数管接收，通过放大器将它的强度在微安表上显示出来。测角仪可记录到衍射峰位的角度值，输入到计算机后计算出晶棒的偏转角度α和β。根据所计算的α和β值，将晶棒在粘接台上用粘接剂粘接。
三、技术特性：
a)主要性能：
该系统可对3～8英寸、最大长度700㎜的晶棒进行定向和粘接。（其他尺寸晶体可按用户实际需求定做）
b)主要参数：
●X射线管：铜靶，强迫风冷
●管电压：30KVP，全压合闸
●管电流：0～5mA 连续可调
●整机耗电功率：小于0.5KW
●灵敏度：优于0.01゜
●最小角度读数：0.001゜
●样品旋转角度：－10～50゜
●计数管：盖革，工作电压500～1100V
●时间常数：1、2档
●定位板旋转角（α）：±10゜，最小读数0.001゜
●晶棒旋转角（β）：±90゜，最小读数0.1゜
●直径3～8英寸，长度700㎜
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供货厂家：丹东辽东射线仪器有限公司
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