电子精细化工材料 电子级三氯氢硅（用于外延） 物理性质：密度：1.37；沸点：31.8℃；分子量：135.45；无色透明液体 规格：SiHCl3≥99.95％；电阻率:700～100Ω.cm 参数（杂质含量）：单位：ppb Co≤0.01　　Cr≤2.20　　Fe≤12.00　　Mn≤0.25 Ni≤1.00　　V≤0.01 　　B≤0.06　　　Al≤1.00 P≤0.01　　MO≤1.50 金属杂质总量≤20ppb 其他氯硅烷≤500ppm 供货厂家：南京锗厂有限责任公司 公司地址：南京市江宁经济技术开发区将军大道718号 邮　　编：211165 负 责 人：赵立奎 联 系 人：吴荣楠 电　　话：025-52752782 传　　真：025-52752782 E-mail: Plzhang58@yahoo.com.cn http://www.nange.com