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电子工业用晶体、晶片高精度加工技术与市场应用研讨会文集 |
电子信息产业是目前发展最为迅速的高新技术产业,尤其是半导体产业在中国的快速发展及光伏太阳能电池的迅速崛起,带动了对相关电子基础材料的巨大市场需求及发展。随着半导体电子元器件向大尺寸、高均匀性、高完整性、多功能、片式化、模块集成化方向发展,对半导体硅片、元器件用石英晶片等电子材料的精度提出更高的要求。为适应半导体及元器件制造业发展的需求,提高国内材料加工技术水平,合理利用原材料资源,降低耗材和减少材料加工中的污染,加强应用研究,推动国内外相关企业的交流与合作,中国电子材料行业协会组织召开了电子工业用晶体、晶片高精度加工技术与市场应用研讨会。会议邀请了集成电路、半导体硅片、太阳能用硅材料、压电石英晶体、铌酸锂、钽酸锂等晶体材料和相关切、磨、抛原材料企业的行业领导、研究开发、生产和应用的高等院校、科研院所、生产企业负责人、行业知名专家作专题报告。
该论文集包含内容如下:
◇前 言……………………………………………………………………………
◇我国半导体材料行业的发展对高精度电子专用设备的需求…………朱黎辉
◇半导体硅材料现状和技术发展…………………………………………杨德仁
◇微电子器件制备中纳米SiO2磨料及CMP抛光技术的研究……………刘玉岭,牛新环,檀柏梅,王胜利
◇4英寸SAW级钽酸锂、铌酸锂晶片的研制………………………………何季麟 姚敏 李海军 乔伟
◇镀膜材料品质对光学表面疵病的影响…………………………………盛永江
◇二氧化硅浆料及其在晶片抛光工艺的应用……………………………施为德
◇晶体材料切片、研磨用碳化硅微粉性能探讨…………………………吕镇山
◇我国绿碳化硅微粉加工业的技术进展…………………………………张福根
◇电子工程用碳化硅微粉磨料及技术发展………………………………孙 毅
◇硅单晶片加工技术发展及对原辅材料的要求…………………………周旗钢
◇太阳能晶片切割新趋势…………………………………………………………
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