专业调研报告 （Professional Investigation and Research) 集成电路用高纯化学试剂行业调研报告 完成时间：2006年3月 　　本文重点对超净高纯化学试剂在集成电路中的应用、品种规格、SEMI标准，生产关键技术及工艺，国内外行业现状、国内生产企业情况、发展趋势、集成电路对高纯试剂的市场需求与分析预测等进行了调查研究与分析，并介绍我国今后产业发展的目标，行业投资发展建议。 该调研报告的提纲内容如下: 一、超净高纯试剂的概述 （一）超净高纯试剂简介 （二）超净高纯试剂特点 （三）超净高纯试剂用途 （四）超净高纯试剂的制备及配套处理技术 二、超净高纯试剂种类、标准及规格 （一）超净高纯试剂种类 （二）超净高纯试剂的标准及规格 三、超净高纯试剂与集成电路 （一）集成电路的发展趋势 （二）超净高纯试剂与IC技术发展的关系 （三）我国集成电路产业概况 （四）半导体和集成电路产业对超净高纯试剂行业发展的带动 四、国内外超净高纯试剂行业现状 （一）国外超净高纯试剂行业状况及主要生产企业 （二）国内超净高纯试剂行业现状及主要生产企业 　　1、国内超净高纯试剂发展历程及行业现状 　　2、超净高纯试剂产品市场需求及价格水平 　　3、目前国内超净高纯试剂主要生产企业 五、主要超净高纯试剂的生产流程及关键技术 （一）几种主要超净高纯试剂的工艺流程 （二）超净高纯试剂的关键技术 （三）国内超高纯试剂生产中存在的主要问题 六、超净高纯试剂发展目标及行业投资建议 （一）技术研究 （二）生产经营 （三）政策方面 （四）建立合理的人才培养体系 表目录： 表1.1 沾污类型、来源和常用的清洗剂表 表1.2 几种主要超净高纯试剂在芯片制造中的用途 表2.1 超净高纯试剂的分类 表2.2 SEMI国际标准等级 表2.3 国内半导体用试剂常用规格 表2.5 盐酸SEMI标准（纯度限定和其他要求） 表2.6 硫酸SEMI标准（纯度限定和其他要求） 表2.7 过氧化氢SEMI标准（纯度限定和其他要求） 表3.1 超净高纯试剂与IC技术发展的关系 表3.2 国内半导体企事业单位按专业和地区分布 表3.3 国内已建成直径≥100mm集成电路主要生产企业、技术水平、投片规模 表3.4 国内集成电路与高纯试剂用量估算 表4.1 我国电子化学品进口量和国产产品市场占有率情况 表4.2 国内高纯试剂的主要生产厂及主要生产品种 表4.3 2005年及2006年（预测）国内高纯试剂生产情况 表4.4 国内超净高纯试剂用量及预测 表4.5 2005年国内各种超净高纯试剂的消耗量 《集成电路用高纯化学试剂行业调研报告》价格为3200元。